產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
開(kāi)式氣浮疊層結(jié)構(gòu)
結(jié)構(gòu)緊湊、精度高
重復(fù)定位精度±50nm
直線度±0.1μm，平面度±0.15μm
根據(jù)需求可定制
高柔線纜管理
應(yīng)用領(lǐng)域
QFL-XY系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于飛秒激光加工，超精密加工、測(cè)試測(cè)量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用開(kāi)式氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點(diǎn)低等特點(diǎn)，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護(hù)運(yùn)行，隨著時(shí)間推移，不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降。
精度性能
QFL-XY軸雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw±0.5arc sec，以上為全行程精度指標(biāo)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。
定制化
根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計(jì)，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺(tái)等?？膳渲么罄硎?、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上?？蛇x配主動(dòng)隔振系統(tǒng)，適合高抖動(dòng)的應(yīng)用領(lǐng)域。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFL-25-25 |
QFL-50-50 |
QFL-75-75 |
||||
|
軸系A(chǔ)xis |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
25 |
25 |
50 |
50 |
75 |
75 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.02 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
|||||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±5 |
±7.5 |
±7.5 |
|||
|
高精版Plus |
±20 |
±40 |
±40 |
|||||
|
普通版Standard |
±30 |
±75 |
±75 |
|||||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
|||
|
高精版Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.25 |
±0.25 |
|||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.35 |
±0.35 |
|||||
|
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.25 |
±0.35 |
±0.35 |
|||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±1 |
±1 |
|||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
10 |
5 |
5 |
|||
|
普通版Standard |
20 |
10 |
10 |
|||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
50 |
||||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3) |
m/s2 |
1,（5定制） |
||||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
10 |
||||||
|
供氣壓力Operating Pressure(4) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFL-100-100 |
QFL-125-125 |
QFL-150-150 |
||||
|
軸系A(chǔ)xis |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
100 |
100 |
125 |
125 |
150 |
150 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
|||||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
|||
|
高精版Plus |
±40 |
±40 |
±40 |
|||||
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
|||||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.015 |
|||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.4 |
±0.4 |
|||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
|||
|
普通版Standard |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
|||||
|
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.4 |
±0.45 |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
|||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
2 |
2 |
2 |
|||
|
普通版Standard |
5 |
5 |
5 |
|||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
50 |
||||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3) |
m/s2 |
1,（5定制） |
||||||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
10 |
||||||
|
供氣壓力Operating Pressure(4) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈恒溫間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測(cè)量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm高度處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載。
4. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。
5. 無(wú)特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。
