產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
三軸直驅(qū)式結(jié)構(gòu)
結(jié)構(gòu)緊湊、亞微米級精度
XY軸氣浮結(jié)構(gòu)
Z軸楔形平升結(jié)構(gòu)
根據(jù)需求可定制
高柔線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)中的XY軸為氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸為楔形平升結(jié)構(gòu)，外觀結(jié)構(gòu)緊湊，用于飛秒激光加工，基因測序，光學(xué)檢測和微光刻技術(shù)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
XY軸為開式氣浮，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，十字疊層具有體積小，精度高等特點(diǎn)，能有效降低減小阿貝誤差影響。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。Z軸直驅(qū)楔形平升結(jié)構(gòu)，無絲桿、聯(lián)軸器等中間傳動(dòng)裝置，提高了結(jié)構(gòu)模態(tài)和整定性能，三軸結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)優(yōu)化了系統(tǒng)剛度。
精度性能
XY軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±50nm，雙向重復(fù)定位精度±15nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Roll Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±0.05μm，直線度±1.5μm。
線纜管理
使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。
定制化
XY軸可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，重復(fù)定位精度±15nm。行程也可接受定制。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFL-25-25-5XX |
QFL-50-50-5XX |
|||||
|
軸系A(chǔ)xis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程Travel |
mm |
25 |
25 |
5 |
50 |
50 |
5 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.02 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±5 |
— |
±7.5 |
— |
||
|
高精版Plus |
±20 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||
|
普通版Standard |
±30 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||
|
普通版Standard |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.1 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.25 |
— |
±0.35 |
— |
||||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.25 |
±3 |
±0.35 |
±3 |
||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±7.5 |
±1 |
±7.5 |
||||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±0.25 |
±1.5 |
±0.35 |
±1.5 |
||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±5 |
±1 |
±5 |
||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
50 |
50 |
50 |
50 |
|||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
3 |
3 |
|||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFL-75-75-5XX |
QFL-100-100-5XX |
|||||
|
軸系A(chǔ)xis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程Travel |
mm |
75 |
75 |
5 |
100 |
100 |
5 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
普通版Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
||
|
高精版Plus |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.25 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.35 |
— |
±0.4 |
— |
||||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.35 |
±3 |
±0.4 |
±3 |
||
|
普通版Standard |
±1 |
±7.5 |
±1 |
±7.5 |
||||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±0.35 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
||
|
普通版Standard |
±1 |
±5 |
±1 |
±5 |
||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
100 |
50 |
200 |
50 |
|||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
3 |
3 |
|||||
|
型號(hào)Model |
單位Units |
QFL-125-125-5XX |
QFL-150-150-5XX |
|||||
|
軸系A(chǔ)xis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程Travel |
mm |
125 |
125 |
5 |
150 |
150 |
5 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
普通版Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||
|
單向重復(fù)定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±10 |
— |
||
|
高精版Plus |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||
|
雙向重復(fù)定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.015 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.4 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.15 |
— |
±0.15 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
||||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.4 |
±3 |
±0.5 |
±3 |
||
|
普通版Standard |
±1.5 |
±7.5 |
±1.5 |
±7.5 |
||||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±0.4 |
±1.5 |
±0.5 |
±1.5 |
||
|
普通版Standard |
±1.5 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
200 |
50 |
200 |
50 |
|||
|
最大負(fù)載Max Load |
kg |
3 |
3 |
|||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復(fù)定位精度優(yōu)于±50nm，測量時(shí)溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級VC-F，測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
4. 無特殊項(xiàng)目要求，出廠默認(rèn)為準(zhǔn)。
