產(chǎn)品詳情
志昇HMDS無塵無氧化烘烤箱，是融合HMDS預(yù)處理技術(shù)與無塵無氧化環(huán)境控制的專業(yè)設(shè)備，為精密電子制造等領(lǐng)域提供可靠的制程保障。
在核心功能上，它精準(zhǔn)把控溫度、時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù)，能在硅片、基片表面均勻涂布HMDS涂層，大幅提升光刻膠與基片的黏附性，同時(shí)減少光刻膠用量，降低生產(chǎn)成本。其控溫范圍覆蓋RT+10℃至250℃，可滿足不同制程的溫度需求。
設(shè)備采用不銹鋼工作室搭配不銹鋼加熱管，配合高效過濾系統(tǒng)與氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置，能營造100級(jí)潔凈度的無氧化環(huán)境。通過充入凈化保護(hù)氣體排出未凈化氣體，有效避免基片氧化，提升產(chǎn)品質(zhì)量。溫度波動(dòng)度控制在±0.5℃，溫度偏差不超過±2.0℃，確保制程環(huán)境穩(wěn)定。
此外，設(shè)備配備保溫密封條與壓緊裝置，保障箱體密封性，減少熱量散失與外界污染。雙層抽動(dòng)式載物鋼板設(shè)計(jì)，方便工件取放與批量處理，兼顧實(shí)用性與高效性。
在核心功能上，它精準(zhǔn)把控溫度、時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù)，能在硅片、基片表面均勻涂布HMDS涂層，大幅提升光刻膠與基片的黏附性，同時(shí)減少光刻膠用量，降低生產(chǎn)成本。其控溫范圍覆蓋RT+10℃至250℃，可滿足不同制程的溫度需求。
設(shè)備采用不銹鋼工作室搭配不銹鋼加熱管，配合高效過濾系統(tǒng)與氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置，能營造100級(jí)潔凈度的無氧化環(huán)境。通過充入凈化保護(hù)氣體排出未凈化氣體，有效避免基片氧化，提升產(chǎn)品質(zhì)量。溫度波動(dòng)度控制在±0.5℃，溫度偏差不超過±2.0℃，確保制程環(huán)境穩(wěn)定。
此外，設(shè)備配備保溫密封條與壓緊裝置，保障箱體密封性，減少熱量散失與外界污染。雙層抽動(dòng)式載物鋼板設(shè)計(jì)，方便工件取放與批量處理，兼顧實(shí)用性與高效性。
