產(chǎn)品詳情
MAGNESCALE磁頭、MAGNESCALE數(shù)字探規(guī)、MAGNESCALE數(shù)顯表等全系列產(chǎn)品
。
MAGNESCALE是一家始于1969年的日本精密測量設(shè)備制造商,前身為SONY
Magnescale(索尼磁尺公司),專注于工業(yè)級位移傳感器、磁柵尺、數(shù)顯
探規(guī)及高精度測量系統(tǒng)的研發(fā)與生產(chǎn) 。2010年,公司加入MORI SEIKI集
團,進一步強化了數(shù)控機床和半導體制造設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)實力。以磁柵技
術(shù)為核心,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、智能制造、半導體工藝、精密組裝
、木石材加工、鋼鐵冶金等多個工業(yè)領(lǐng)域 。相比傳統(tǒng)的光學測量方式,
MAGNESCALE的磁性測量系統(tǒng)在抗油污、抗振動、耐溫變、高穩(wěn)定性方面具
有顯著優(yōu)勢,特別適合惡劣工業(yè)環(huán)境下的長期穩(wěn)定運行。
MAGNESCALE其歷史始于1965年索尼的植村三良等人發(fā)明磁通響應(yīng)型磁讀頭
。50多年過去了,現(xiàn)在它已變成了磁阻變化型(MR)讀頭,雖然磁性材料
也發(fā)生了變化,但本質(zhì)是一樣的,都是一種磁性檢測方式的位置檢測系統(tǒng)
,因此能夠適應(yīng)惡劣的環(huán)境。它不易受機床固有的結(jié)露和油污的影響,并
持續(xù)具有較高的耐振動性和耐沖擊性。此外,它還追隨機床的工作臺的熱
脹冷縮。磁柵尺的進化版是2015年發(fā)售的智能磁柵尺。這是一套在磁性傳
感器中采用隧道磁阻(TMR)元件,并通過開發(fā)新的磁性材料、信號處理
電路和內(nèi)插算法將柵尺和讀頭分離的系統(tǒng)。通過分離,可以對讀頭和柵尺
分別進行防護,并且可以不用軸承等磨損零件。作為面向NC機床的柵尺,
它兼具業(yè)界的IP67的耐環(huán)境性和5nm的高分辨率。
MAGNESCALE公司開發(fā)的磁性材料中,使用具有高精度磁記錄的柵尺。此外
,通過帶有檢測模式的MR傳感器(起磁阻作用的元件)除去了諧波失真分
量,從而使柵尺在保持高精度的同時,還能夠適應(yīng)惡劣的環(huán)境和劇烈的溫
度變化。由于磁柵尺采用磁性檢測方式,所以不易受到機床上不可避免的
結(jié)露和油污的影響,即使在惡劣的環(huán)境下,也能獲得穩(wěn)定的高精度。在柵
尺上會記錄2個磁道的模式。增量式磁道上刻有等間隔的SN Pitch信號,
另一個磁道為了實現(xiàn)被稱為M-編碼(位置)而刻有區(qū)號。磁性檢測采用專
為柵尺開發(fā)的MR元件,實現(xiàn)了高靈敏度和低失真。
MAGNESCALE內(nèi)插處理技術(shù)是一種將從磁柵尺檢測到的信號波形分割成所需
間距(細度)的技術(shù)。例如,智能磁柵尺從以400μm的間距刻出的磁刻度
檢測到相位差為90度的兩個正弦波?,F(xiàn)在將其進行電分割,但如果信號包
含失真,則無法獲得準確的位置信息(真值)。從柵尺檢測到的信號中除
去DC分量,實時進行電平調(diào)整和相位調(diào)整,并通過處理進行80,000次分割
,以獲得分辨率為5nm的位置信息。


