產(chǎn)品詳情
邁浦特機械高低溫一體機是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施級溫控設(shè)備，其工作原理的核心在于為精密制造和測試設(shè)備提供一個溫度極度穩(wěn)定、介質(zhì)極度純凈的熱量交換平臺。它采用“二次換熱”的間接冷卻原理和多重精密控制策略。
設(shè)備內(nèi)部有兩個獨立的循環(huán)回路：一次側(cè)（機組內(nèi)部）回路：使用去離子水或乙二醇溶液作為工質(zhì)，通過壓縮機制冷和電加熱器調(diào)節(jié)，在一個小型的、高度絕緣的儲液罐內(nèi)形成一個基礎(chǔ)溫場。二次側(cè)（供給用戶設(shè)備）回路：使用極高純度的超純水（UPW），通過一個高效、低熱阻的板式換熱器與一次側(cè)回路進行熱量交換，從而被精確地控制在設(shè)定溫度。二次側(cè)的UPW通過循環(huán)泵，經(jīng)由潔凈管路系統(tǒng)輸送給用戶設(shè)備（如光刻機或探針臺），吸收或提供熱量后回流。
實現(xiàn)±0.01℃甚至更高穩(wěn)定性的關(guān)鍵在于：1. 高精度傳感與控制：采用鉑電阻溫度計（PRT）或熱敏電阻作為傳感器，配合24位AD采樣的多級PID控制器，對加熱和制冷功率進行毫瓦級的微調(diào)。2. 熱慣性設(shè)計與擾動隔離：儲液罐和管路采用高性能保溫材料，循環(huán)泵采用低發(fā)熱設(shè)計或外置，最大限度減少自身產(chǎn)熱對系統(tǒng)的干擾。3. 動態(tài)負載補償：控制器能根據(jù)用戶設(shè)備熱負載的變化（如探針臺測試時芯片發(fā)熱），提前預(yù)測并調(diào)整輸出功率。對于探針臺測試，一體機可將晶圓承載的Chuck（熱沉）快速、精確地控制在-55℃至+150℃的任意溫度點，并在芯片加電測試時，迅速帶走其功耗產(chǎn)生的熱量，保持Chuck溫度恒定，從而測得芯片在不同結(jié)溫下的準確電性參數(shù)。整個系統(tǒng)對介質(zhì)純凈度要求極高，所有接觸UPW的部件均采用316L不銹鋼或高純聚合物，并經(jīng)過嚴格的表面處理和清洗，以防止離子污染和顆粒物產(chǎn)生，確保半導(dǎo)體工藝的良率。
溫度范圍：5℃ ~ +90℃ (超純水型)
溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
熱交換量：5kW ~ 50kW
介質(zhì)：/水/純水
潔凈度：顆粒物控制（如≤0.1μm），密閉防污染設(shè)計
壓力與流量控制：多級泵，壓力與流量可獨立精密控制
