2026年伊始，中國工業(yè)綠色發(fā)展領(lǐng)域迎來重磅政策紅利。1月14日，工業(yè)和信息化部等五部門聯(lián)合印發(fā)《關(guān)于開展零碳工廠建設(shè)工作的指導(dǎo)意見》，明確將電子電器列為重點培育行業(yè)，提出到2027年建設(shè)一批零碳工廠。與此同時，《廢棄電器電子產(chǎn)品處理污染控制技術(shù)規(guī)范》（HJ 527—2026）于3月1日正式實施，首次將服務(wù)器、智能消費設(shè)備等新型電子廢棄物納入管控范圍。電子信息領(lǐng)域設(shè)備更新的投資門檻也從500萬元大幅降至100萬元。

這一系列新規(guī)的密集落地，釋放出明確信號：電子制造與集成電路產(chǎn)業(yè)的綠色低碳轉(zhuǎn)型，已從“選答題”變?yōu)椤氨卮痤}”。環(huán)保技術(shù)不再是產(chǎn)業(yè)末端的“清潔工”，而是深度融入生產(chǎn)工藝，成為保障產(chǎn)品質(zhì)量、提升經(jīng)濟(jì)效益、實現(xiàn)綠色轉(zhuǎn)型的核心生產(chǎn)力。

即將于2026年4月13-15日在上海新國際博覽中心舉辦的第27屆上海國際環(huán)博會上，一批深耕于電子制造領(lǐng)域的環(huán)保企業(yè)將集中展示他們的創(chuàng)新答案：如何用綠色科技，為高精尖的“中國芯”生產(chǎn)注入全新的低碳動能。

一、定義“芯片血液”的純凈極限：從超純水到精準(zhǔn)監(jiān)測

超純水被譽為電子工業(yè)的“血液”，在晶圓清洗、蝕刻、光刻掩膜板制造等環(huán)節(jié)，水質(zhì)的好壞直接決定了芯片的良率和性能。面對高端制程對水中雜質(zhì)近乎苛刻的要求，環(huán)保技術(shù)正在重新定義“純凈”的邊界。

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江蘇蘇凈集團(tuán)有限公司（N2館 A20） 將帶來其光罩掩膜超純水處理系統(tǒng)，直擊高端掩膜生產(chǎn)依賴進(jìn)口技術(shù)的痛點，實現(xiàn)了最高等級指標(biāo)超純水的國產(chǎn)化應(yīng)用。這一突破不僅關(guān)乎產(chǎn)業(yè)鏈安全，更與《零碳工廠建設(shè)指導(dǎo)意見》中“大幅提升能源利用效率”的要求相呼應(yīng)——國產(chǎn)化替代本身即是降低全產(chǎn)業(yè)鏈碳足跡的重要路徑。

恩泰環(huán)?？萍迹ǔＶ荩┯邢薰荆?/span>N1館 I15） 推出的節(jié)能高脫鹽型反滲透膜，專為電子超純水制造設(shè)計，以高脫鹽率、低能耗及低TOC溶出的特性，從源頭上解決了超純水制備的高能耗難題。這與政策倡導(dǎo)的“能效標(biāo)桿水平”要求高度契合。

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有了高品質(zhì)的水，如何精準(zhǔn)“看住”它？天健創(chuàng)新（北京）監(jiān)測儀表股份有限公司（E3館 C02） 展示了其超純水高穩(wěn)定性電導(dǎo)率測量解決方案。該方案針對超純水在極限測量中信號微弱的痛點，通過優(yōu)化傳感器與算法，在接近18.2 MΩ·cm的極限區(qū)間實現(xiàn)了數(shù)量級的穩(wěn)定性提升——這正是《指導(dǎo)意見》所強調(diào)的“健全碳排放核算管理體系，實現(xiàn)科學(xué)算碳”在微觀層面的技術(shù)落地。同樣，鄭州貫奧儀器儀表有限公司（E3館 D82） 的壁掛式水質(zhì)在線分析儀，能同時監(jiān)測pH、電導(dǎo)率、余氯等多參數(shù)，以小巧之軀靈活守護(hù)各工藝環(huán)節(jié)的水質(zhì)安全。

值得一提的是，2026年電子信息領(lǐng)域設(shè)備更新政策已將電子測量儀器列為重點支持方向，頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)測試儀等高端儀器享有優(yōu)先支持。這意味著，水質(zhì)監(jiān)測儀器的升級改造將迎來政策紅利窗口。

二、廢水“重生”記：從達(dá)標(biāo)排放到資源回用

電子制造廢水成分復(fù)雜，富含重金屬、酸堿污染物及有機(jī)溶劑。如何將其化害為利，實現(xiàn)資源循環(huán)，是產(chǎn)業(yè)綠色升級的“必答題”。《廢棄電器電子產(chǎn)品處理污染控制技術(shù)規(guī)范》（HJ 527—2026）特別強調(diào)，要“加強資源循環(huán)利用標(biāo)準(zhǔn)供給”，明確電路板、液晶顯示屏等關(guān)鍵產(chǎn)物的利用處置要求。

藍(lán)色起源環(huán)境科技（常州）有限公司（N2館 F26） 的電子制造廢水零排放處置工程給出了漂亮答案。其BOEX系列濃縮型MVR蒸發(fā)器可將廢水直接濃縮，最高提取99%的蒸餾水回用于生產(chǎn)，處理后的水質(zhì)COD降低約20倍，真正實現(xiàn)了廢水“重生”與近零排放。面對PCB行業(yè)高無機(jī)磷的清洗廢水，濰坊英創(chuàng)環(huán)保設(shè)備有限公司（N2館 I90） 的派克漢尼汾噴淋清洗污水處理方案，通過精準(zhǔn)加藥沉淀，實現(xiàn)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。

在過程精準(zhǔn)控制方面，太倉市祥瑞環(huán)?？萍加邢薰荆?/span>W1館 A47） 的電鍍生產(chǎn)線工藝槽液與綜合廢水全自動管理方案，通過高精度ORP控制儀聯(lián)動投加，精準(zhǔn)破解破氰、還原反應(yīng)中對氧化還原電位控制的極高要求，確保重金屬穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。煒測環(huán)境科技（上海）有限公司（E2館 G26） 帶來的Aquamonitrix 硝氮亞硝氮同步在線分析儀，基于離子色譜原理，為廢水生化處理單元提供抗干擾的精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。

三、潔凈生產(chǎn)：守護(hù)精密制造的“呼吸”與安全

芯片制造車間需要極致的潔凈環(huán)境。高效處理廢氣、保障空氣潔凈，是穩(wěn)定生產(chǎn)與職業(yè)健康的雙重防線?！栋雽?dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》對揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）的定義、集氣系統(tǒng)要求、排放削減率計算等作出了詳細(xì)規(guī)定。這意味著，廢氣處理設(shè)施的升級改造已成為合規(guī)剛需。

江蘇磐碩環(huán)?？萍脊煞萦邢薰荆?/span>E5館 D01） 推出的光刻工藝溶劑廢氣排出離心風(fēng)機(jī)應(yīng)用方案，不僅輸送潔凈空氣，更能有效促進(jìn)光刻膠溶劑的揮發(fā)排出，其低振動與精準(zhǔn)風(fēng)量控制特性，完美適配光刻工藝的苛刻要求。這正回應(yīng)了《零碳工廠建設(shè)指導(dǎo)意見》中“通用設(shè)備能效達(dá)到1級及以上水平”的要求。

面對蝕刻、電鍍產(chǎn)生的強酸霧與VOCs，恒馳環(huán)保設(shè)備（南京）有限公司（E5館 C22/D21） 提供從收集到處理的完整廢氣解決方案，采用FRP防腐風(fēng)機(jī)與變頻控制，實現(xiàn)高效節(jié)能。瑞思泰環(huán)?？萍迹贤ǎ┯邢薰荆‥6館 D01） 則專為蝕刻清洗工序設(shè)計了酸霧廢氣處理工程，宣稱凈化率超過99%，以專業(yè)設(shè)計應(yīng)對嚴(yán)苛環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

在吸附材料領(lǐng)域，萍鄉(xiāng)市捷龍環(huán)?？萍加邢薰荆?/span>E6館 B57） 的蜂窩狀沸石分子篩，憑借凈化效率高、耐高溫不可燃、壽命長的優(yōu)勢，正成為替代活性炭的理想選擇，為VOCs治理提供了更安全、經(jīng)濟(jì)的方案。

值得一提的是，2026年電子信息領(lǐng)域設(shè)備更新政策對申報項目提出了明確要求：需達(dá)到國家能效標(biāo)準(zhǔn)2級以上，舊設(shè)備原值不低于新設(shè)備投資的10%。這意味著，企業(yè)進(jìn)行廢氣處理設(shè)備升級改造，不僅能滿足環(huán)保合規(guī)要求，還可享受政策補貼紅利。

從“芯”出發(fā)，共筑綠色智造未來

從一滴水的極限純化，到一滴廢水的資源重生；從一口空氣的潔凈保障，到一塊廢棄電路板的規(guī)范處置，環(huán)保科技正以前所未有的深度融入電子制造與集成電路的每一道工序。它不僅是產(chǎn)業(yè)綠色底色的守護(hù)者，更是提升產(chǎn)品良率、降低運營成本、增強核心競爭力的價值創(chuàng)造者。

2026年4月13-15日，上海新國際博覽中心，第27屆上海國際環(huán)博會將匯聚這些綠色創(chuàng)新的力量，為您全景呈現(xiàn)環(huán)保技術(shù)如何賦能電子產(chǎn)業(yè)綠色低碳發(fā)展。我們誠摯邀請電子制造、半導(dǎo)體行業(yè)的同仁們親臨現(xiàn)場，與眾多環(huán)保先鋒一道，探尋“綠色芯”的無限可能，共同見證綠色科技如何為“中國智造”筑牢可持續(xù)發(fā)展的根基。

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